Ein wichtiger Bestandteil der Rauchgasreinigung ist die Entfernung von festen Partikeln aus dem Abgas. Diese Stäube entstehen teilweise bereits beim Verbrennungsvorgang, aber auch bei den einzelnen Komponenten des Rauchgasreinigungsvorgangs - zum Beispiel beim Sprühabsorber durch Einsprühen von Aktivkohle und Kalkmilch.

Dafür gibt es verschiedene Verfahren, die beispielsweise Teilchen durch poröse Stoffe filtern oder durch Fliehkraft abscheiden. Eine weitere Möglichkeit ist die elektrostatische Aufladung der Staubteilchen, die auch mit einer Nasswäsche verbunden sein kann. 

Mehrere Systemkomponenten können zur Feststoffabscheidung zum Einsatz kommen. Sie erzielen in gewissem Umfang auch bei der Abscheidung von gasförmigen Schadstoffen gute Ergebnisse.