Elektrofilter bestehen aus mehreren Reihen von Minus-Sprühelektroden und aus Plus-Niederschlagselektroden. Zwischen diesen beiden Elektroden herrscht eine Gleichspannung von 20 bis 100 kV.

Die Staubteilchen im Rauchgasstrom werden elektrostatisch aufgeladen, wandern zur Niederschlagselektrode und bleiben dort haften.

Elektrofilter sind robust und wartungsarm und haben eine hohe Verfügbarkeit. In mehrfeldrigen Elektrofiltern können Abscheidungsgrade von über 99,8 % erreicht werden.

Ihre Leistung ist auch dann noch hervorragend, wenn der Feststoffanteil im Rohgasstrom außergewöhnlich hoch ist. Dies tritt zum Beispiel auf, wenn im Rauchgasstrom Partikel von Reaktionsprodukten aus einer Sprühabsorption oder staubartige Aschen aus einem Dampferzeuger vorhanden sind.

Für die Reinigung von gasförmigen Schadstoffen ist der Elektrofilter jedoch nicht geeignet.